Способ измерения напряжения микропробоя мдп-структур

Номер патента: 1829787

Авторы: Андреев, Барышев, Сидоров, Столяров

Описание

Способ измерения напряжения микропробоя МДП-структур, заключающийся в том, что МДП-структуру заряжают путем пропускания прямоугольного импульса тока и одновременно измеряют временную зависимость напряжения на МДП-структуре, отличающийся тем, что, с целью сокращения времени измерения и упрощения способа, одновременно с МДП-структурой заряжают емкость сравнения произвольной величины, определяют отношение емкости МДП-структуры к емкости сравнения n = Cмдп/Cср, при этом заряжают МДП-структуру импульсом тока с амплитудой Iмдп = k Iпор, где Iпор - пороговая величина тока; k - коэффициент пропорциональности (k > 1), а емкость сравнения - импульсом тока с амплитудой Iср = m Iмдп, где m - коэффициент пропорциональности, и определяют напряжение микропробоя как напряжение на МДП-структуре, при котором отношение производной по времени напряжения на МДП-структуре к производной по времени напряжения на емкости сравнения равно величине (k - 1)/(n m k).

Заявка

4919569/25, 19.03.1991

Калужский филиал МГТУ им. Н. Э. Баумана

Андреев В. В, Барышев В. Г, Сидоров Ю. А, Столяров А. А

МПК / Метки

МПК: H01L 21/66

Метки: мдп-структур, микропробоя

Опубликовано: 27.04.2002

Код ссылки

<a href="https://patents.su/0-1829787-sposob-izmereniya-napryazheniya-mikroproboya-mdp-struktur.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ измерения напряжения микропробоя мдп-структур</a>

Похожие патенты