Способ поддержания свч-разряда

ЕЛЬСТВУ Цел разряд тродин Эта известо с СУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯ И ГКНТ СССР(56) Авторское свидетельство СССРйф 810055, кл. Н 05 В 7/18, 1981.Щипачев В.П. и др. в кн,"Кинетии термодинамика химических реакцийв низкотемператуоной плазме", ИНаука, 1965, с,234-235 (прототип). Изобретение относится к области генерации низкотемпературной плазмы и может быть использовано в различных химико-технологических процессах.Известен способ, в котором поддерживают разряд в камере, расположенной на оси радиальной линии, в которой волну низшего типа возбуждают посредством коаксиальной ли" нии, которая берет начало от коаксиально-волноводного перехода. Наиболее близок к предложенномуспособ поддержания СВЧ-разряда, включающий подвод операции к разряднойкамере, расположенной перпейдикуляр- но к широким стенкам прямоугольноговолновода, по которому энергию к , разряду подводят с одной стороны,что в силу эФФекта распространенияразрядов в сторону возрастания энергии приводит к смещению разряда на"встречу энергии, и как следствие,перегреву разрядной камеры.(5 Ц)(57) СПОСОБ ПОДДЕРЖАНИЯ СВЧ-РАЗРЯДА, включающий подвод энергии к разрядной камере, пропущенной через волновод перпендикулярно к его широкой стенке, о т л и ч а ю щ и йс я тем, что, с целью улучшения электродинамической стабилизации разряда,энергию делят пополам и подводят в одинаковой Фазе с двух противоположных сторон к разрядной камере. ь изобретения - поддержаниеЖ а - является улучшение элекамической стабилизации разряда,цель достигается тем, что, вном способе поддержания СВЧ"разряда, включающем подвод энергии к разрядной камере через волновод перпендикулярно к его широкой стенке, энергию делят пополам и подводят в одинаковой Фазе с двух противоположных сторон к разрядной камере.Возбуждающиеся при этом на коакси- ффффф альном участке разряда или накоакси" Сф альном участке коаксиально-волновод ф ,ного перехода коаксиальные волны Н т двух падающих с противоположных торон,равных по величине амплитуды, и одинаковых по Фазе волн, взаимно уничтожаются.В случае, когда энергия суммирует- й ся непосредственно на разряде, который поддерживается в камере, распо" ложенной в волноводе, перпендикулярно к его широким стенкам, можно го" ворить о симметрии подвола энергиидписноеоткрытиям при ГКНТ СССд /5 венного 113035,1 роизводственно"издательский комбинат "Патент", г. У ул. Гагарина,10 относительно плоскости, перпендикулярной сечению волновода. Однако, как показывает опыт, разряд в этом случае остается строго симметричным и относительно оси разрядной камеры, если он согласован с трактом подвода энергии.В варианте, когда разрядная камера расположена на оси радиальной линии, а энергия подводится предлагаемым способом, осевая симметрия разряда обеспечивается априори. На чертеже показан плазмотрон. Ои представляе собой отрезокпоямоугольного волновода 1 сечением (90 т 15) ммф. Разрядная камера 2 выполнена из кварцевой трубки с внутренним диаметром 11 мм и пропущена через волиовод перпендикулярно его широким стенкам в плоскости, равноудаленной от концов волновода,В случае, когда мощность подводилась от одного источника через одно плечо волновода, а в другом - на расстоянии фЬ/4 ( Ь - волноводиая длина волны) от оси камер устанавливался короткозамыкающий поршень, наблюдался нагрев кварцевой. трубки со стороны обращенной к поршню вплоть до ее деформации, что по нашим оценкам соответствовало нагреву стенок трубки до 1200 С, при этом падающая на разряд мощность не превышала 1,8 КВт,В случае, когда мощность подводилась к двум плечам плазмотрона также от одного источника, она предварительно делилась трехдецибельнымделителем мощности и дальше канализировалась по двум трактам с одинаковыми сечениями и одинаковымигеометрическими длинами, чем обеспечивалось падение на разряд двух волн,направленных противоположно другдругу, имеющих одинаковые амплитудыи фазыВ этом случае удавалось вложить вразряд 1 кВт суммарной мощности беззаметного нагрева кварцевой трубки.Бе температура, по .нашим оценкамне превышала 150 С. Такие результатыпозволяют сделать предположение овозможности увеличения вкладываемой вразряд мощности, Однако к настоящемувремени промышленностью еще не вы 25 пускаются генераторы непоеоывногоуровня мощности на примененнойнами частоте 2 ч 00 М ц с выходноймощностью, превышающей Й,2 кВт.В обоих случаях расход плазмо 30 образующего газа (воздуха) былодинаковым и равным 6,2 10 ф мыс.В предлагаемом способе в силуобеспечения полной симметрии разряда ресурс работы плазмотрона практически ие ограничен,