Стереоскопический однообъективный микроскоп
Формула | Описание | Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Формула
1. СТЕРЕОСКОПИЧЕСКИЙ ОДНООБЪЕКТИВНЫЙ МИКРОСКОП, содержащий переставной осветитель, объектив и два оптических канала, в каждом из которых последовательно установлены блок изменения увеличения, ахроматическая линза и оборачивающая призма, а также окуляр, отличающийся тем, что, с целью обеспечения возможности контроля микроструктур с малорельефными элементами, в оптические каналы между объективом и блоком изменения увеличения введены съемные полупрозрачные отражатели, плоскость установки которых находится под одинаковым углом к оси блока изменения увеличения, преимущественно равным 45o.
2. Микроскоп по п. 1, отличающийся тем, что, с целью контроля микроструктур, полученных травлением, коэффициенты отражения первого и второго полупрозрачных отражателей находятся в соотношении1=
2-
22
3. Микроскоп по п. 2, отличающийся тем, что, с целью получения максимальной освещенности, коэффициенты отражения первого и второго полупрозрачных отражателей равны 0,25 и 0,5 соответственно.
4. Микроскоп по п. 1, отличающийся тем, что, с целью контроля микроструктур, полученных резанием, он снабжен комплектом съемных полупрозрачных отражателей, коэффициенты отражения которых находятся в соотношении2=
5. Микроскоп по п. 4, отличающийся тем, что, с целью получения максимальной освещенности, коэффициенты отражения первого и второго отражателей равны 0,36 и 0,46 соответственно.
Описание
Одним из применений стереомикроскопов является контроль микросхем.
Цель изобретения - обеспечение контроля микроструктур с малорельефными элементами.
На чертеже показана принципиальная схема микроскопа.
Микроскоп имеет: 1 - наблюдаемый объект, 2 - объектив, 3 - дополнительные линзы, 4 - оборачивающая призменная система, 5 - окуляры, 6, 7 - системы Галилея устройства изменения увеличения, 8 - первый съемный полупрозрачный элемент, 9 - второй съемный полупрозрачный элемент, 10 - источник света, 11 - конденсор. Элементы 10 и 11 образуют переставной осветитель, который в штатном состоянии микроскопа позволяет осуществлять наблюдение в проходящем свете и при косом освещении. Полупрозрачные отражатели 8 и 9 пересекаются с осями Галилея под одинаковыми углами, преимущественно равными 45о. Световые размеры этих отражателей согласованы с максимальными световыми размерами обращенных к ним элементов систем Галилея. В зависимости от характера индикатриссы рассеяния наблюдаемых структур полупрозрачные отражатели 8 и 9 имеют коэффициенты отражения, находящиеся в одном из соотношений











Микроскоп работает следующим образом. Свет от осветителя (10, 11) попадает на первый полупрозрачный отражатель 8. Часть







Чуриловский В. Н. Теория оптических приборов. Машиностроение, 1966, с. 445.
Изобретение относится к приборостроению, а именно к стереоскопическим микроскопам. Цель изобретения - обеспечение контроля микроструктур с малорельефными элементами. В устройство введены съемные полупрозрачные отражатели, установленные между объективом и элементами блока изменения увеличения. Отражатели установлены друг за другом и пересекаются с осью блока изменения увеличения под углом 45. Для наблюдения объектов с разными свойствами съемные отражатели образуют комплексы с соответствующими соотношениями коэффициентов отражения. Приведены соотношения. 4 п. ф-лы, 1 ил.
Рисунки
Заявка
4690966/10, 20.03.1989
Антонов А. П, Степин Ю. А
МПК / Метки
МПК: G02B 21/00
Метки: микроскоп, однообъективный, стереоскопический
Опубликовано: 28.02.1994
Код ссылки
<a href="https://patents.su/0-1649934-stereoskopicheskijj-odnoobektivnyjj-mikroskop.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Стереоскопический однообъективный микроскоп</a>
Предыдущий патент: Миниатюрный магнетрон
Следующий патент: Способ изготовления копии дифракционной решетки
Случайный патент: Способ определения молекулярных масс полимеров