Реактор для проведения диффузии в производстве полупроводниковых приборов

Номер патента: 1634050

Авторы: Волков, Кондрашов, Мурзин

Описание

Реактор для проведения диффузии в производстве полупроводниковых приборов, включающий кварцевую трубу диаметром D с отверстием для ввода газов на одном конце и отверстием для загрузки и выгрузки полупроводниковых пластин на другом, съемную кварцевую крышку с отверстием для вывода газов, цилиндрическая часть которой коаксиально входит в отверстие трубы для загрузки и выгрузки полупроводниковых пластин, отличающийся тем, что, с целью повышения процента выхода годных полупроводниковых приборов и продления срока службы реактора, цилиндрическая часть съемной крышки установлена с постоянным зазором величиной g = 0,05D по отношению к стенке трубы, а со стороны отверстия для вывода газов в цилиндрической части съемной крышки выполнена перегородка с отверстием диаметром d = 0,2D, причем отверстие диаметром d и отверстие для вывода газов расположены по разные стороны оси реактора.

Заявка

4635453/25, 11.01.1989

Кондрашов В. В, Мурзин С. А, Волков В. И

МПК / Метки

МПК: H01L 21/223

Метки: диффузии, полупроводниковых, приборов, проведения, производстве, реактор

Опубликовано: 27.10.1999

Код ссылки

<a href="https://patents.su/0-1634050-reaktor-dlya-provedeniya-diffuzii-v-proizvodstve-poluprovodnikovykh-priborov.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Реактор для проведения диффузии в производстве полупроводниковых приборов</a>

Похожие патенты