Реактор для проведения диффузии в производстве полупроводниковых приборов
Описание | Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Описание
Заявка
4635453/25, 11.01.1989
Кондрашов В. В, Мурзин С. А, Волков В. И
МПК / Метки
МПК: H01L 21/223
Метки: диффузии, полупроводниковых, приборов, проведения, производстве, реактор
Опубликовано: 27.10.1999
Код ссылки
<a href="https://patents.su/0-1634050-reaktor-dlya-provedeniya-diffuzii-v-proizvodstve-poluprovodnikovykh-priborov.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Реактор для проведения диффузии в производстве полупроводниковых приборов</a>
Предыдущий патент: Устройство для регулирования расхода воздуха
Следующий патент: Способ подземной переработки угольного вещества
Случайный патент: Цилиндрическая направляющая