Способ определения функции близости в электронной литографии
Описание | Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Описание
Заявка
4443187/21, 15.04.1988
Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов АН СССР
Бабин С. В, Свинцов А. А
МПК / Метки
МПК: H01L 21/312
Метки: близости, литографии, функции, электронной
Опубликовано: 20.02.2000
Код ссылки
<a href="https://patents.su/0-1593516-sposob-opredeleniya-funkcii-blizosti-v-ehlektronnojj-litografii.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ определения функции близости в электронной литографии</a>
Предыдущий патент: Способ получения 2, 2, 5, 5-тетраметил-1, 3-диокса-2 силациклогексана
Следующий патент: Хлорид бензилгексаметилентетраммония, обладающий бактерицидной активностью в отношении сульфатвосстанавливающих бактерий и культур pseudomonas
Случайный патент: Способ облагораживания гидролизных сред для выращивания кормовых дрожжей