Способ изготовления элементов коррекции интенсивности электромагнитного излучения

Номер патента: 1565316

Авторы: Гаврин, Кислов, Маликов, Семчишен

Описание

Способ изготовления элементов коррекции интенсивности электромагнитного излучения, включающий формирование на прозрачной подложке корректирующего поглощающего слоя путем воздействия на подложку корректируемого электромагнитного излучения, отличающийся тем, что, с целью повышения точности коррекции интенсивности электромагнитного излучения в ультрафиолетовом и видимом диапазонах, в том числе со сложным распределением интенсивности, сокращения длительности цикла изготовления элемента коррекции за счет уменьшения числа технологических операций, одну или обе поверхности подложки приводят в контакт с фоторазлагающейся средой, продукты фотодиссоциации которой непрозрачны к корректируемому электромагнитному излучению, а формирование поглощающего слоя проводят путем фотохимического осаждения до установления заданной коррекции.

Заявка

4415595/25, 21.04.1988

Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов АН СССР, Научно-исследовательский центр по технологическим лазерам АН СССР

Кислов Н. А, Маликов И. В, Гаврин О. Н, Семчишен В. А

МПК / Метки

МПК: H01L 31/18

Метки: излучения, интенсивности, коррекции, электромагнитного, элементов

Опубликовано: 20.02.2000

Код ссылки

<a href="https://patents.su/0-1565316-sposob-izgotovleniya-ehlementov-korrekcii-intensivnosti-ehlektromagnitnogo-izlucheniya.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ изготовления элементов коррекции интенсивности электромагнитного излучения</a>

Похожие патенты