Способ получения металлических микромостиков

Номер патента: 1485970

Авторы: Вдовин, Касумов

Описание

Способ получения металлических микромостиков, включающий электрохимическое травление металлического кристалла до образования узкого перешейка, соединяющего два массивных электрода, отличающийся тем, что, с целью улучшения технологических свойств микропроводников и уменьшения их размеров, перешеек расплавляют проходящим через него в режиме заданного напряжения током и выдерживают в расплавленном состоянии до уменьшения его размеров до заданной величины.

Заявка

4246437/25, 18.05.1987

Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов АН СССР

Вдовин Е. Е, Касумов А. Ю

МПК / Метки

МПК: H01L 39/22

Метки: металлических, микромостиков

Опубликовано: 20.02.2000

Код ссылки

<a href="https://patents.su/0-1485970-sposob-polucheniya-metallicheskikh-mikromostikov.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ получения металлических микромостиков</a>

Похожие патенты