Способ определения электрической гетерогенности поверхности полупроводников и диэлектриков

Номер патента: 1454166

Авторы: Клюев, Кузнецов, Липсон, Ревина, Саков, Топоров

Формула

1. СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ЭЛЕКТРИЧЕСКОЙ ГЕТЕРОГЕННОСТИ ПОВЕРХНОСТИ ПОЛУПРОВОДНИКОВ И ДИЭЛЕКТРИКОВ, основанный на размещении электрода на расстояние d над заряженной поверхностью образца и измерении параметров электрического разряда, отличающийся тем, что, с целью повышения разрешающей способности, экспрессности и информативности, используют плоский электрод, имеющий площадь, равную или больше площади образца, помещают образец и электрод в герметичную камеру, в которой изменяют давление до появления разряда между образцом и электродом, регистрируют давление, токи разряда и их направление, определяют напряжение между электродом и образцом, по полученным значениям вычисляют заряд и площадь заряженных участков поверхности, по которой судят об электрической гетерогенности поверхности.
2. Способ по п.1, отличающийся тем, что давление в герметичной камере увеличивают, если образец был заряжен в вакууме.
3. Способ по п.1, отличающийся тем, что давление в герметичной камере уменьшают, если образец был заряжен при атмосферном давлении.

Описание

Изобретение относится к полупроводниковой технике и может быть использовано для контроля электрической однородности поверхности полупроводников и диэлектриков.
Цель изобретения повышение разрешающей способности, экспрессности и информативности.
На фиг. 1 и 2 приведены зависимости разрядного тока I и давления Р в герметичной камере от времени откачки

для двух образцов LiF.
П р и м е р 1. Измерение электрической гетерогенности поверхности кристалла LiF, заряженного отрицательной короной в атмосферных условиях.
Кристалл размером 1х1х0,5 см (площадь исследуемой поверхности 1 см²) размещали на держателе в герметичной камере. Измерительный электрод (зонд) площадью 1 см² располагали параллельно поверхности кристалла на расстоянии 1 мм от нее. Затем давление в камере постепенно снижали путем откачки воздуха форвакуумным насосом. В процессе откачки наблюдались электрические разряды пробои промежутка между поверхностями заряженного кристалла и зонда. Регистрацию разрядных токов осуществляли с помощью самописца с постоянной

_пр=2

10^-2 с. Пример записи представлен на фиг. 1. Регистрировали величину давления в камере, при котором в цепи прибора наблюдался ток разряда. Величину пробойного напряжения U₁ для каждого давления Р₁ определяли по закону Пашена. Затем по формулам
S_i=

;
Q_i=I_pi

_пр, где Q_i заряд участка поверхности площадью S_i;
U_i разность потенциалов между поверхностью образца и электродом;

_пр постоянная времени регистрирующего прибора;
d расстояние между поверхностями образца и электрода;
Е_о электрическая постоянная;
Е диэлектрическая проницаемость воздуха;
I_pi ток разряда. производят расчет S_i, Q_i, Результаты расчетов приведены в табл. 1.
Из приведенных в таблице результатов следует, что даже при специальном униполярном заряжении поверхность кристалла LiF оказывается заряженной неоднородно, что отражает существующую физическую гетерогенность поверхности.
П р и м е р 2. Измерение электрической гетерогенности поверхности свежего скола монокристалла LiF, приобретающего электрический заряд в момент прохождения трещины при сколе.
Исследовали образцы LiF, расколотые по плоскости (100) в атмосферных условиях. Последовательность операций такая же, как в примере 1. Запись токов разряда приведена на фиг. 2. Результаты расчетов представлены в табл. 2.
Из табл. 2 и фиг. 2 видно, что заряд отдельных участков свежего скола монокристалла LiF не только отличается по абсолютной величине, но и по знаку.
Изобретение относится к полупроводниковой технике и может быть использовано для контроля электрической однородности поверхности полупроводников и диэлектриков. Цель повышение разрешающей способности, экспрессности и информативности. Над поверхностью образца размещают на фиксированном расстоянии электрод. Образец и электрод помещают в герметичную камеру, в которой изменяют давление. При некотором давлении происходит электрический разряд между заряженным участком образца и электродом. Регистрируют ток разряда и давление, по которым определяют площадь заряженных участков и их заряд. 2 з. п. ф-лы, 2 ил. 2 табл.

Рисунки

Заявка

4228453/25, 13.04.1987

Институт физической химии АН СССР

Саков Д. М, Липсон А. Г, Клюев В. А, Кузнецов В. А, Топоров Ю. П, Ревина Е. С

МПК / Метки

МПК: H01L 21/66

Метки: гетерогенности, диэлектриков, поверхности, полупроводников, электрической

Опубликовано: 20.08.1995

Код ссылки

<a href="https://patents.su/0-1454166-sposob-opredeleniya-ehlektricheskojj-geterogennosti-poverkhnosti-poluprovodnikov-i-diehlektrikov.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ определения электрической гетерогенности поверхности полупроводников и диэлектриков</a>

Похожие патенты

Система регулирования перепада давления между пузырьковой камерой и трекочувствительной мишенью

Номер патента: 1056097

Опубликовано: 23.11.1983

Автор: Плескач

МПК: G01T 5/06

Метки: давления, камерой, между, мишенью, перепада, пузырьковой, трекочувствительной

...закпюченную в вакуумный кожух и размещенную в ней трекочувствитепьную мишень, а также трубку напопнения1056097 4пережима в рабочем объеме мишени установпен конценсатор 13,Система работает спецующим образом,Поскопьку большинство криогенныха 5 пузырьковых камер в качестве рабочейжидкости испопьзуют взрывоопасные, вещества, то цпя управпения и регупирования испопьзуется пневмоавтоматика. Пео- репац цавпения межцу мишенью .3 и10 камерой 1 измеряется цифференциапьнымпневмопреобразоватепем 7, который преоба, разует измеряемый перепац цавпения во- станцартный возцушный сигнап вепичинойе-10 кг/см, Станцартный возцушный2ом,15 сигнап поступает на пневморегупятор 8,у- гце сравнивается с опорным сигналом,который пропорционапен зацаваемой сащ...

Способ измерения давления в разрядной камере от канала разряда на электроды разрядного промежутка

Номер патента: 1337683

Опубликовано: 15.09.1987

Авторы: Капишников, Липов

МПК: G01L 7/00

Метки: давления, камере, канала, промежутка, разряда, разрядного, разрядной, электроды

...в раз-,рядный промежуток. В корпус 1 встроены также второй крешерный преобразователь 6 давления, аналогичный преобразователю 4, и эталонный преобразователь 7 давления, в качестве которого используется, например, пьезоэлектрический преобразователь давленияРабочие торцы второго крешерного6 и эталонного 7 преобразователейдавления установлены параллельно оси разрядного канала ца одинаковом удалении от него, что позволяет одновременно измерять каждым из них амплитуду давления в перпендикулярном к осиканала разряда направлении, Измерения проводят следующим образом,Производят градуировку всех используемых в измерении преобразователей давления (основного крешерного 4, второго крешерного 6 и эталонного 7), для чего используется эталонный...

Прибор для контроля давления воздуха в камере автомобильной шины

Номер патента: 82072

Опубликовано: 01.01.1950

Автор: Эвентов

МПК: B60C 23/04

Метки: автомобильной, воздуха, давления, камере, прибор, шины

...резиновой кольцевой камерон 2, сжатой между двумя изолированнымн дисками 3, связанными между собой сжимающей их пружиной 4, и соединенной трубкою 5 с полостью камеры шины. Один из дисков 3 соединен с массой автомобиля, а другой - с роликом 6 токосъемного устройства сигнальной цепи, катягцимся по контактном кольц 1 , концентрично укрепленному на тормозном диске колеса н снабженному ребрами 8, слжащими для выдавливания грязи в промежутки между ребрами с последующим удалением ее через радиальные отверстия 9 в кольце под действием центробежной силы,82072При падении давления воздуха В камере шины, а вместе с нею и вкольцвой камере 2 приоора пружинОЙ 4 сжимаотся диски 3, замыкаясвоими бортами 10 электрицескую сигнальную цепь.П...

Камера-штатив с контролируемой атмосферой для спектрального анализа

Номер патента: 930020

Опубликовано: 23.05.1982

Авторы: Заболотнев, Краснопрошин, Кудюкин

МПК: G01J 3/42

Метки: анализа, атмосферой, камера-штатив, контролируемой, спектрального

...к механизмам, размещенным внутри корпуса камеры 1, и вакуум плотно закрывается поворотной крышкой 42. 5 9300 0вом направлении, а с ведушим валом 19жестко с возможностью разьема.Червячная передача, состоящая иэчервяка 16 и колеса 17, и система валов, состояшая из промежуточного полого вала 18 и ведущего вала 19 с рукояткой управления 20, образуют механизмвращения.Через отверстие, выполненное в основании кронштейна 14, пропущен ходовойвинт 21, закрепленный верхней частьюв опоре вертикальной стенки 22 основания кронштейна 14.С ходовым винтом 21 взаимодействуетгайка, состоящая из корпуса 23 и реэьбовой втулки 24, Корпус 23 гайки спомошью профильного крепления (например,типа "ласточкина хвоста) соединен свертикальнсй,стенкой 22, служащей...

Прибор для контроля давления воздуха в камере автомобильной шины

Номер патента: 87566

Опубликовано: 01.01.1950

Автор: Эвентов

МПК: B60C 23/04

Метки: автомобильной, воздуха, давления, камере, прибор, шины

...контрольную камеру, сообщенную с камерой шины резиновой трубкой.Предлагаемый прибор отличается тем, что контрольная резиновая камера помещена в замкнутую полость изменяющегося объема, образованную корпусом и подвижными дисками, снабженными направляющими, устраняющими возможность перекоса и обеспечивающими взаимное перемещение дисков параллельно один другому.На чертеже изображен прибор для двух колес в разрезе.Прибор монтируется на ступице колеса и состоит из закрытого крышкой 1, служащей одновременно колпаком колеса, цилиндрического корпуса 2 с помещенными внутри него соосно расположенными двумя дисками 3, нагруженными пружинами 4 и образующими с корпусом замкнутые полости, в которых помещены резиновые контрольные камеры о,...

Предыдущий патент: Способ получения изогнутых сотовых панелей

Следующий патент: Устройство для исследования термальных вод в скважинах

Случайный патент: Преобразователь аналог-цифра

В верх страницы