Способ изготовления пленочных резисторов
Формула | Описание | Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Формула
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ПЛЕНОЧНЫХ РЕЗИСТОРОВ, включающий последовательное нанесение на подложку резистивного слоя, адгезионного подслоя ванадия, слоя меди, защитной металлической пленки, формирование рисунка резисторов, стабилизирующий отжиг с последующим удалением защитной металлической пленки, отличающийся тем, что, с целью уменьшения разброса значений температурного коэффициента сопротивления и повышения временной стабильности характеристик, в качестве защитной металлической пленки используют ванадиево-алюминиевый сплав с содержанием ванадия 15 - 30 мас.% и алюминия 70 - 85 мас.%.
Описание
Известен способ изготовления пленочных резисторов, включающий нанесение на подложку резистивного слоя, адгезионного подслоя, проводящего слоя металла, формирование рисунка резисторов и стабилизирующий отжиг.
Недостаток известного способа состоит в большом разбросе температурного коэффициента сопротивления (ТКС) и низкой временной стабильности резисторов.
Наиболее близким к изобретению техническим решением является способ изготовления пленочных резисторов, включающий последовательное нанесение на подложку резистивного слоя, адгезионного подслоя ванадия, слоя меди, защитной металлической пленки, формирование рисунка резисторов и стабилизирующий отжиг с последующим удалением защитной металлической пленки.
Недостатки этого способа заключаются в большом разбросе ТКС (
3 
10-4 град-1) и низкой временной стабильности ( 0,5%).Цель изобретения уменьшение разброса значения температурного коэффициента сопротивления и повышение временной стабильности характеристик.
Это достигается тем, что в известном способе изготовления пленочных резисторов, включающем последовательное нанесение на подложку резистивного слоя, адгезионного подслоя ванадия, слоя меди, защитной металлической пленки, формирование рисунка резисторов, стабилизирующий отжиг с последующим удалением защитной металлической пленки, в качестве защитной металлической пленки используют ванадиево-алюминиевый сплав с содержанием ванадия 15-30 мас. и алюминия 70-85 мас.
П р и м е р. На подложку из ситалла СТ50-1-1 напыляют резистивный слой, а затем в едином технологическом цикле наносят на установке УВН-75 П1 подслой ванадия, слой меди и защитную пленку ванадиевоалюминиевого сплава методом электронно-лучевого испарения металлов из молибденовых тиглей. Режимы нанесения приведены в табл.1.
Ванадий и алюминий испаряют одновременно, при этом процесс напыления начинают после разогрева испарителей в течение 60-70 с.
Рисунок резисторов и коммутационных дорожек формируют методом фотолитографии, включающей операции нанесения фоторезиста ФП-383, экпонирования рисунка, проявления в растворе тринатрийфосфата, задубливания, травления многослойной структуры в смеси кислот (Н3РО4, НNО3 и Н2О).
Операцию стабилизирующего отжига подложек со схемами проводят в муфельной печи при оптимальных температурах 320оС (сплав РС 3710) и 420оС (сплав К50С) с последующим селективным травлением пленки из ванадиево-алюминиевого сплава сначала в 3-5%-ном горячем растворе NаОН и затем в перекиси водорода.
Настоящим способом были изготовлены резисторные микросборки четырех типов по 100 штук каждого типа. Результаты испытаний приведены в табл.2 и 3.
Изобретение позволяет уменьшить разброс ТКС, повысить временную стабильность пленочных резисторов, увеличить выход годных и снизить стоимость резисторных микросборок.
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ПЛЕНОЧНЫХ РЕЗИСТОРОВ, включающий последовательное нанесение на подложку резистивного слоя, адгезионного подслоя ванадия, слоя меди, защитной металлической пленки, формирование рисунка резисторов, стабилизирующий отжиг с последующим удалением защитной металлической пленки, отличающийся тем, что, с целью уменьшения разброса значений температурного коэффициента сопротивления и повышения временной стабильности характеристик, в качестве защитной металлической пленки используют ванадиево-алюминиевый сплав с содержанием ванадия 15 - 30 мас.% и алюминия 70 - 85 мас.%.
Рисунки
Заявка
3463486/21, 01.07.1982
Проектно-технологический и научно-исследовательский институт
Плеханов А. А, Исаева Е. В
МПК / Метки
МПК: H01C 17/00
Метки: пленочных, резисторов
Опубликовано: 27.02.1996
Код ссылки
<a href="https://patents.su/0-1259873-sposob-izgotovleniya-plenochnykh-rezistorov.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ изготовления пленочных резисторов</a>
Защитный слой
Номер патента: 818789
Опубликовано: 07.04.1981
Авторы: Зарицкий, Кнопп, Молдованов, Молчанов
МПК: B23K 20/00
...защитный слой термостоек, не разлагается в среде защитных газов при высоких температурах и исключает 10 приваривание свариваемых деталей к оснастке и сварку элементов оснастки между собой. При необходимости защитный слой легко удаляется водой.П р и м е р. Изготавливали корпус полу проводникового прибора диффузионнойсваркой. На контактные поверхности элементов оснастки .(кассет), а также на поверхности свариваемых деталей, контактирующих с оснасткой, наносили слой медицинского препарата А 1 птаце 1, После испарения летучих компонентов на контактных поверхностях элементов оснастки, а также на поверхностях свариваемых деталей образовывался прочный защитный слой в виде тонкой сплошной пленки. Кассета для сварки деталей собиралась...
Способ получения защитного слояна металлическом сердечнике напорнойтрубы
Номер патента: 844334
Опубликовано: 07.07.1981
Авторы: Назин, Седунов, Черкинский, Эпштейн
МПК: B28B 21/44
Метки: защитного, металлическом, напорнойтрубы, сердечнике, слояна
...р .и м е р 1. Готовили клеящий состав, представляющий однородную смесь полимерцементного раствора на основе водной дисперсии дивнилстирольного латекса с отношением последнего к цементу 0,1. На металлическом сердечнике диаметром 500 мм и длиной 10000 мм растирали подготовленный состав на наружной и внутренней его поверхностях с по. мощью механической приводной щетки, Затем наносили бетонную смесь на внутреннюю поверхность сердечника с помощью центрифугироваиия и на наружную - с помощью торкретирования, После этого изготовленную трубу подвергали термообработке по известной технологии. Затем проводили испытания готовой трубы на прочность сцепления бетона с металлом и несущую способность.Прочность сцепления металлической поверхности с...
Защитный слой
Номер патента: 1705572
Опубликовано: 15.01.1992
Авторы: Бойко, Вечкитов, Спирин
МПК: E21C 41/22
...так и устойчивость участков возводимого защитного слоя, А это, в свою очередь, предопределяет выбор размера между осями смежных цилиндров для того, чтобы обеспечить минимальную подвижку защитного слоя и повысить несущую способность возводимого слоя. Если расстояние между осями смежных цилиндров выполнить менее 0,5 диаметра одного цилиндра, то получим защитный слой мощностью, равной одному диаметру без каких-то бы ни было выступов, а это может привести к низкой надежности перекрытия, из-за наличия разновозрастной закладки и отсутствия надежных связей между закладкой и кровлей защитного слоя.Кроме того, при выполнении расстояния между осями двух смежных цилиндров менее 0,5 диаметра одного цилиндра происходит увеличение стоимости...
Защитный слой рабочей поверхности магнитной головки
Номер патента: 622151
Опубликовано: 30.08.1978
Авторы: Варламов, Вяльцев, Гавриш, Зильберберг, Карпинос, Любуцин
МПК: G11B 5/40
Метки: головки, защитный, магнитной, поверхности, рабочей, слой
...магнитной 20 головки без снижения ее чувствительности. Недостатком подобного защитного слоя является малая прочность сцепления покрытия с рабочей поверхностью магнитной головки. 25Цель изобретения - увеличение сцепления покрытия с рабочей поверхностью магнитной головки.Для этого покрытие доодержит окись магния, ок сь 31 оказан один из возможных лагаемого защитного слоя ности магнитной головки. й рабочий слой выполнен в 1, расположенного на рабои 2 магнитной головки с ых сторон ее рабочего зазощего из окиси алюминия. рабочий слой содержит такя, окись хрома, закись марый литий, окись цинка и входящие в покрытие 1. При 1 может, например, содерПредлагаемый рабочий слой обеспечива. ет предохранение истирания рабочей по верхности 2...
Устройство для глазуровки блоков замороженных пищевых продуктов защитным слоем
Номер патента: 950272
Опубликовано: 15.08.1982
Авторы: Булатникова, Вичюлис, Гул, Жидонис, Скурдянис
МПК: A23B 4/06
Метки: блоков, глазуровки, замороженных, защитным, пищевых, продуктов, слоем
...5, выполненную в видеподпружиненного пружиной 6 диска с вырезом, при этом писк может быть зафиксироьан с помощью попвижного упора 7 ирычага 8, взаимодействующего с неподвижным упором 9, Привод кассеты 2 вы 2 фполнен в випе силового цилиндра 10, при"водимого в действие через блок 11 управления, снабженный концевым выключателем 12. Ось кассеты 2 цепной переда-чей 13 связана с ведущим валам (не показан) транспортера 14 схолодильнойкамерой 15, расположенными за приспособлением для периодического погружения блоков в жидкость по ходу технологическогопроцесса,Устройство работает слецуюшим образом,1Блок 11 управления настраивается наопределенный режим работы, в соответствии с которым силовой цилиндр 10 сообщает кассете 2 качательные...
Предыдущий патент: Лазер
Следующий патент: Пьезоэлектрический акселерометр
Случайный патент: Состав для комплексного легирования