Зно

Номер патента: 424600

Опубликовано: 25.04.1974

Авторы: Гарачук, Зно, Мартыновский, Томашевич

МПК: B02C 19/00

Метки: измельчения, полупроводниковыхматериалов

...- уменьшить пластичность материалов и предохранить их от окисления. Это достигается тем, что измелществляют в инертных криогенстях, например в азоте, при техпределах от 4 К до 100 К.Иопаряющаяся криогенная жидкость создает инертную среду, препятствующую окислению.Полупроводниковые материалы, помещенные в отвакуумированный эксикатор, вносятся в бокс, в котором находится измельчающее устройство, например мельница, и сосуд Дьюара с жидким азотом. Бокс герметизируется и путем испарения части жидкого азота из него удаляется воздух, а также создается небольшое избыточное давление азота. Вещество из эксикатора запружается в мечьницу, рабочее пространство которой соединено патрубком с сосудом Дьюара, Через патрубок подается дозирусмое...