Зкаменсккй

Номер патента: 239745

Опубликовано: 01.01.1969

Авторы: Зкаменсккй, Лапшин

МПК: G02B 5/18

Метки: дифракционных, защиты, решеток

...подслоя на поверхность решетки испаряют титан в двух вольфрамовых лодочках размером 50 Х 10 х 0,05 лл 1, вставленных одна в другую. Загруженные титаном лодочки прокаливают при вакууме не менее 5,10 -мм рт. ст. С началом испарения титана вакуум улучшается, так как титан поглощает остаточные газы. Поддерживают испарение титана при напряжении 36 в и токе 120 а.Требуемая толщина подслоя титана порядка 1000 - 2000 А.Нанесение подслоя контролируют путем регистрации количества испарившегося вещества и фотоэлектрическим методом - пропусканием света через подложку (решетку),После испарения титана сразу же испаряют алюминий, доводя толщину его слоя до размеров, предусмотренных руководствами. Затем после нанесения слоя алюминия нарезают...