Зитта

Номер патента: 437812

Опубликовано: 30.07.1974

Авторы: Борисенко, Горба, Горячева, Грабек, Зитта, Прихидько, Турасов, Чепик

МПК: C23C 11/00

Метки: покрытий, раствор, силикатных

...кухудшению параметров полупроводниковых 1приборов,Цель изобретения - разработка раствора,который позволит получать качественные силикатные покрытия при более низкой температуре, например 300 - 500 С, 1Сущность изобретения состоит в том, чтодля получения силикатных покрытий используется смесь крем нийорганического эфира,водного раствора одной из фосфорных кислоти органического растворителя. В пленкообразующий раствор целесообразно ввести добавку азотнокислого алюминия или азотнокислого галлия,П р и м е р. Силикатную пленку, содержащую 2 - 35% РО 5 и 65 - 98% %02, получают из раствора, содержащего на 1 вес. ч. 510,(содержится в тетраэтоксисилане) 0,2 - 0,5 вес. ч. РеОв (содержится в ортофосфорной кислоте), 7,5 - 15 вес. ч, простых...