Жорж-Мари

Номер патента: 1346058

Опубликовано: 15.10.1987

Авторы: Ален, Бернар, Жорж-Мари

МПК: G01P 15/125, G01P 15/13

Метки: акселерометр, трехосный, электростатический

...при емкостном5определении положения чувствительного элемента при 4 ора.Электродные пластины 8-13 изготовлены из изолирующего материала (оксидкремния, глинозем). Металлизацияактивных электродов и других проводящих поверхностей осуществлена путем напыления в вакууме. Электроды ипроводящие поверхности отделены пазами, образованными при помощи ультразвука.Механические упоры 33 имеют высотупорядка 20 мкм и получены методомшелкографии,Трехосный электростатический акселерометр имеет три идентичных контура компенсации, каждый из которых,например по оси 02 и по углу у, состоит (фиг. 7) из генератора 34 переменного тока и источника 35 постоянного тока, соединенных соответственно через емкость и резистор посредством гибкого проводника 36 с...