Завина

Номер патента: 905633

Опубликовано: 15.02.1982

Авторы: Гоман, Завина, Савиковский

МПК: G01B 11/02

Метки: параметров, размерных, топологии, фотошаблонов

...объектив 4, зеркало 5, зеркальный элемент 6 с выполненной в нем анализирующей щелью 7, 25 фотоприемник 8, двухкомпонентную оборачиваюшую систему, состоящую из первого 9 и второго 10 компонентов, и окуляр 11, Осветитель 1, датчики линейных перемещений 3 смонтированы нв нижнем основании 30 12, по которому перемещается предметный столик 2 с контролируемым фото- шаблоном 13. Объектив 4, зеркало 5, второй компонент 10 оборвчивающей системы и окуляр 11 смонтированы на верх- З 5 нем основании 14, по которому имеет возможность перемещаться каретка 15 с размещенными нв ней зеркальным элементом 6, фотоприемником 8 и первым компонентом 9 оборачивающей системы, при чем зеркальный элемент 6 расположен и фокепь 1 ой ппоскости первого компонента 9...