Закосаренко

Номер патента: 1602301

Опубликовано: 20.05.1996

Авторы: Борисенко, Войтенко, Закосаренко, Ильичев, Тулин

МПК: H01L 39/24

Метки: джозефсоновского, контакта, ниобия, основе

Способ изготовления джозефсоновского контакта на основе ниобия, включающий напыление пленки ниобия на кремниевую подложку, формирование фоторезистивной маски, травление слоя ниобия, формирование слоя барьера, напыление второй пленки ниобия, формирование второй фоторезистивной маски, травление второго слоя ниобия, отличающийся тем, что, с целью улучшения электрофизических характеристик контакта, слой барьера формируют нанесением пленки карбита кремния.