Юрьяш
Устройство для нанесения износостойких покрытий
Номер патента: 1832759
Опубликовано: 20.02.1996
Авторы: Кучеренко, Сироткин, Юрьяш
МПК: C23C 14/32, C23C 14/34
Метки: износостойких, нанесения, покрытий
УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ИЗНОСОСТОЙКИХ ПОКРЫТИЙ в вакууме из органических соединений, содержащее испарительную камеру с отверстием в виде сопла для выхода пара, подключенную к отрицательной клемме источника напряжения, подложкодержатель с подложкой, подключенные к положительной клемме источника напряжения, отличающееся тем, что, с целью повышения технологических возможностей, в подложкодержатель со стороны размещения подложки вмонтированы стержневые электроды в виде игл с радиусом заострения 17 - 23 мкм.