Юрина-Цымбал

Номер патента: 1698641

Опубликовано: 15.12.1991

Автор: Юрина-Цымбал

МПК: G01B 11/30

Метки: бесконтактного, поверхности, шероховатости

...в информационных иопорном пучках; б - диаметр пучкови ,сравнимый с базовой длиной шероховатости поверхности, гп - расстояние междуцентрами пучков, которое больше базовойдлины шероховатости повеохности; о - 5центр пучка , совмещенный с центром вращения поверхности 26 контролируемого из-.делия, Ь - центр пучка , в которыйсфокусирован пучок ,Способ осуществляют следующим об- Оразом.Контролируемую поверхность 28 вращают с постоянной скоростью и освещаютдвумя монохроматическими хогарентнымилинейно поляризованными пучками света с 15взаимно ортогональной поляризацией, сформированными лазером 1, четвертьволновойпластиной 2, полупоозрачным зеркалом 9,линзой 10, призмой Волластона 11, призмой 12 и микрообъективами 16 и 15 так, что 20на...