Янчивенко

Номер патента: 1452194

Опубликовано: 15.09.1990

Авторы: Байдаровцев, Пономарев, Савенков, Тальрозе, Янчивенко

МПК: C23C 14/00

Метки: вакууме, нанесения, покрытий, полимерных

...переменного тока до температуры на 5"о10 С вьппе,температуры йарогенератора1. После .установления теплового режима парогенератора 1 между анодом 3и катодом 4 подают напряжение постоянного тока 2,0 кВ, обеспечивающеевозбуждение в разрядном промежуткесамостоятельного тлеющего разряда. 25При ионизадии в плазме газовогоразряда направляемые в разрядный промежуток жидкофазные частицы заряжаются положительно, в результате этогоони ускоряются из области гаэоразрядной плазмы к катоду 4, проходя зону катодного падения, Принимая во фвнимание, что поток рабочего вещества является вязкостным, ускоряющеедействие в разрядном промежутке испы .Э 5тывают и незаряженные частицы. Следовательно, в плоскости катода име ется нормально направленный,...