Вялый

Клеящий состав для крепления полупроводниковых пластин при полировании

Загрузка...

Номер патента: 1725293

Опубликовано: 07.04.1992

Авторы: Богданов, Вялый, Живов, Иванчик, Любак

МПК: H01L 21/302

Метки: клеящий, крепления, пластин, полировании, полупроводниковых, состав

...и клин пластинпосле полирования увелич,1 вается.При массовом содержании смеситрихлорэтилена с изопропаноломболее 500 мас,ч, например 530 мас.ч.,из-за малой вязкости толщина наносимого на столик состава не првышает 1-2 мкм. В этом случае снижается прочность крепления пластин настолике, что приводит к срыву пластин со столика при полировании.При массовом содер нании канифолименее 80 мас.ч например 75 мас.ч,и церезина более 18 мас.ч., например 20 мас.ч., клеящий состав характе.ризуется низкой прочностью крепления пластин на столике в начальныйпериод полирования, когда температура полировальника находится впределах 293-298 К в результатепроисходит самопроизвольный срывпластин со столика и их бой.При массовом содержании канифоли более...

Способ установки судовых секций и устройств при постройке судна на стапеле

Загрузка...

Номер патента: 1627447

Опубликовано: 15.02.1991

Авторы: Батюнин, Вялый, Макаров

МПК: B63B 9/06

Метки: постройке, секций, стапеле, судна, судовых, установки, устройств

...лдзеров 1 и 2 направляк)т(и гоцризчы 6 и 7, з(крепецнИд вдлдх дагциков хгл;. Вращением центапризм 1 и 7 скдцирук) Ирострднство стапеля УггОО( положеипецтапризм 6 и 7, д сле- лОИ(тес,ИО, црО(це,ццих черз цих лучей оцркг (ктвсст(.твующим датчиком,) и 4 л гл;, црицеч пространстве лучи слигд- (ОГ ОТЦОСИТГЬц,РУ ЛРХс ЦД ЪЧС). 9(ГЛГ ,(Ово(цложцие проекции лучей на горцзонсГьцхк п.к(сть определяется латцикоч 5 уГГ(с. 11(р(смси(я( и цространстве уци иг;нт Оккильцо лру лруг на у. ( У(,Оос положение проекции .учй нд ; (ри ц ,. (ьцую и,ккость Оцр( леляет( я 1 чиком, х г.;. Перемсщдясь в цро 1 рцсте, лучи .; с р; Инчерелно Иереекав; фотол ( ктор 1, впол цяющий фуцкцин) цх з - иликгорд. 11 ри рдвгнсгве световых ИОтО- ков, прихО.иих нд Обд фо)...