Вольфгант

Способ определения электрически активных примесей в полупроводниковых структурах с р п-переходом

Загрузка...

Номер патента: 1669407

Опубликовано: 07.08.1991

Авторы: Вольфгант, Дьердь

МПК: G01N 22/00

Метки: активных, п-переходом, полупроводниковых, примесей, структурах, электрически

...детектор 20, первый усилитель 55 21, блок 22 автоматической настройки частоты, второй усилитель 23, линию передачи 24, первый генератор 25 импульсов, второй генератор 26 импульсов, блок 27 обработки сигнала, ЭВИ28 и образец 29.Устройство (фнг. 3) содержит генератор 30, резонатор 31, СВЧ-детектор 32, генератор 33 импульсов, предусилитель 34, контур 35 удерживания,синхронный детектор 36, ЭВМ 37, блок38 регулирования температуры. Вместорезонатора можно использовать СВЧ-рефлектометр. В этом случае образец устанавливается в торцовой части волновода, а позади образца на регулируемом интервале располагается отражательсоответствующего размера,Устройство (фиг. 1) работает следующим образом.Излучение носителей из глубокихуровней, которые и...