Войтовецкий

Номер патента: 217654

Опубликовано: 01.01.1968

Авторы: Войтовецкий, Корсунский, Толмачева

МПК: G01B 13/06

Метки: металлическойпленки, толщины

...методах или влияния струк. турных факторов при определении толщины монокристаллических пленок по рассеянию электронов.Предлагаемый способ отличается от известного тем, что, с целью повышения эффективности и надежности, толщину пленки определяют взвешиванием готового образца (пленка с подложкой) в жидкости с плотностью, равной плотности материала подложки.В предварительных измерениях материал подложки произвольных формы и веса взвешивается в жидкости, удельный вес которой подбирается смешиванием компонентов различной плотности или добавлением соответствующего растворителя так, что выталкивающая сила точно компенсирует вес, Если этч условия достигнуты, то и при непосредственном взвешивании образца вес подложки полпостыл компенсирован,...