Способ определения толщины металлическойпленки

Номер патента: 217654

Авторы: Войтовецкий, Корсунский, Толмачева

ZIP архив

Текст

ОПИСАНИЕИЗОЬЕЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Сова Советскими Социалистичвскил Республик-8) с присоединениеПриоритет аявкиЧПК б 01 ЬУДК 531.754,6 (088,8 митет по делам изобретении и открытиори Совете т 1 ииистровСССР Опубликовано 07,Ч 68, Бюллетень16 Дата опубликования описания 5 Х 11.196 Авторыизобретен Корсунский и Н, С. Толмачева овецкии,явитель СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ТОЛЩИНЬПЛЕНКИ ТАЛЛ ИЧЕСКОЙ азания весов дают5 с,ла пленки; о, - уд весу материала под нки; гу - определяе дмет изобретени Известны различные способы определения толщины металлической пленки, нанесенной на подложку из другого материала. Однако эти способы недостаточно надежны, например, вследствие влияния краевых эффектов при оптических методах или влияния струк. турных факторов при определении толщины монокристаллических пленок по рассеянию электронов.Предлагаемый способ отличается от известного тем, что, с целью повышения эффективности и надежности, толщину пленки определяют взвешиванием готового образца (пленка с подложкой) в жидкости с плотностью, равной плотности материала подложки.В предварительных измерениях материал подложки произвольных формы и веса взвешивается в жидкости, удельный вес которой подбирается смешиванием компонентов различной плотности или добавлением соответствующего растворителя так, что выталкивающая сила точно компенсирует вес, Если этч условия достигнуты, то и при непосредственном взвешивании образца вес подложки полпостыл компенсирован, пвеличину Р=- (о, - о 2)где о 1 - уд вес материвес жидкости, равный уд,ложки; 5 - площадь плмая толщина пленки. Способ определения толщины металлической пленки, в частности монокристаллической пленки, нанесенной на подложку нз другого материала, отличающийся тем, что, с 15 целью повышения эффективности и надежности, толщину пленки определяют взвешиванием готового образца в жидкости с плогностью, равной плотности подложки, так что выталкивающая сила, действующая на обра зец, точно компенсирует вес подложки, причем подбор условий компенсации осуществляется смешиванием компонентов различной плотности при предварительном взвешивании в компенсирующей жидкости материала под ложки произвольных веса и формы,

Смотреть

Заявка

1127416

В. К. Войтовецкий, И. Л. Корсунский, Н. С. Толмачева

МПК / Метки

МПК: G01B 13/06

Метки: металлическойпленки, толщины

Опубликовано: 01.01.1968

Код ссылки

<a href="https://patents.su/1-217654-sposob-opredeleniya-tolshhiny-metallicheskojjplenki.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ определения толщины металлическойпленки</a>

Похожие патенты