Вавра

Номер патента: 1362343

Опубликовано: 30.06.1988

Авторы: Вавра, Коренев

МПК: H01J 1/30, H05H 1/00

Метки: диод, плазменный

...некоторое давлениеостаточного газа в вакуумной камере 1. Затем осаждается инициатор 4катодной плазмы на металлическуюподложку катодной ножки 3 путем ееохлаждения жидким азотом посредствомего заливки в криогент, При этом взависимости от давления остаточногогаза и температуры подложки подбирают условия для создания слоя твердо"го газа. Так, при Р - 510 Торр итемпературе жидкого азота на поверхности подложки катодной ножки 3 будет наращиваться твердый слой молекул воды при цалуске паров воды.Согласно диаграмме тройной точки длякаждого газа можно найти температуруС С, при которой давление насыщенного пара меньше некоторого рабочегодавления в вакуумной кФмере 1.Это означает, что при данной температуре напускаемый газ будет...