Ванчагова

Устройство для нанесения покрытий из газовой фазы

Загрузка...

Номер патента: 1030420

Опубликовано: 23.07.1983

Авторы: Ванчагова, Зорин, Умилин

МПК: C23C 11/02

Метки: газовой, нанесения, покрытий, фазы

...относительно корпуса, подающий и откачной трубопроводы, жестко соединенные с нагревателем. При этом трубопроводы соединены между собой перфорированным коллектором, размещенным в зоне нагрева коаксиально нагревателю. Часть коллектора, соединенная с откачным трубопроводом, имеет перфорацию (отверстия для подачи МОС ) на границе эоны нагрева.,Такая конструкция устройстваисключает контакт реагента и продуктов его разложения с покрываемой поверхностью вне зоны реакции, позволяет осуществить равномерный отвод продуктов разложения непосредственно из зоны реакции. Благодаря этому снижается количество примесей в покрытии ГЗ 3.1030420 нйе и поднимают температуру испарйтеля 5 до 150-160 С, нагревателя 9 до 200-220 С, а нагревателя 8 до 400-420...

Способ газо-хроматографического анализа термически нестойких металлоорганических соединений

Загрузка...

Номер патента: 519628

Опубликовано: 30.06.1976

Авторы: Ванчагова, Зорин, Умилин

МПК: G01N 31/08

Метки: анализа, газо-хроматографического, металлоорганических, нестойких, соединений, термически

...на колонках с твердым носителем,покрытым жидкой фазой в потоке газа-носителя.1 вердым носителем служит хромсорб Ст,жидкой фазой - силоксановый эластомер 155 Е. В качестве газа-носителя используется гелий высокой чистоты, Недостатком известного способа является то, что термически нестойкие металлоорганические соединения при анализе на этом носителе частично 20или полностью разлагаются или необратимо адсорбируются на нем, что приводит к невысокой точности анализа. Это связано сбольшой реакционной способностью этих соедиении и заметной каталитическои активностью герд осиелей, примемх взожидкостной хроматографии.С целью устранения указанного н тка предложено твердый носитель и тельно обрабатывать бм при нагревании.Оптимальные...