Вахтина
Шаблон для рентгенолитографии
Номер патента: 864383
Опубликовано: 15.09.1981
Авторы: Вахтина, Русанов
МПК: H01L 21/312
Метки: рентгенолитографии, шаблон
...рент-,геновскими лучами и играет роль буфера в случае возникновения деформации. Затем методом вакуумного напыления на слой алюминия наносят слойзолота 3 толщиной 0,4 мкм, обеспечивающий хорошую контрастность засвеченного рисунка, После этого на слоезолота формируют рисунок топологии4 способом электронно-лучевой литографии с минимальным размером 0,1 мкм.40В теле кремниевой подложки вскрыва- .ют сквозные окна 5 путем травления втравителе:Этилендиамин 68 млВода 32 млПирокатехин 12 г45опри 115 С, после чего осуществляютдвухстороннее анодирование алюминияпри режимах получения износа устойчивых покрытий.Концентрация Н 180450Плотность токаНапряжениеТемператураэлектролита 15-20 СВремя процесса 30 минПосле получения сплошного слояокисла...
Способ выделения кремнийорганическогоблок-сополимера
Номер патента: 802312
Опубликовано: 07.02.1981
Авторы: Андреев, Вахтина, Тараканов
МПК: C08G 77/34
Метки: выделения, кремнийорганическогоблок-сополимера
...реактивом Драгендорфа, а затем водой, Реактив состоит из двух растворов: А и В. Для получения раствора А 1,7 г основного нитрата висмута растворяют в 20 мл уксусной кислоты, к раствору добавляют 80 мл дистиллированной воды раствор 40 г йодистого калия в 106 мл воды и 200 мл уксусной кислоты. Полученный раствор разбавляют водой до 1 л. Раствор Б представляет собой 20-ный раствор хлорида бария. Растворы А и Б смешивают в соотношении 2:1.В случае полного вымывания пластинка окажется чистой в месте нанесения раствора. Если полиэфир вымылся не полностью, то в этом месте проявится яркое пятно от желтогодо коричневого цвета в зависимостиот концентрации полиэфира.Убедившись в полном вымыванииполиэфира, меняют систему растворителя на...