Уткин-Эдин
Устройство для регулирования низких давлений в проточном реакторе
Номер патента: 1179274
Опубликовано: 15.09.1985
Авторы: Агеев, Иванов, Синчук, Уткин-Эдин
МПК: G05B 19/43, G05D 16/20
Метки: давлений, низких, проточном, реакторе
...равное заданному значению в камере 10. Это достигается эа счет того, что при подаче газа-носителя через регулирующий орган 34 и дополнительный клапан 35 на вход высоковаку" умного затвора 23 давление на входе диффузионного насоса 15 повышается, а следовательно, уменьшается перепад давления на заслонке 12 и скорость откачки реактора 10, давление в котором возрастает. По достижению заданного значения давления в реакторе 10 подают напряжение от источника питания 11 на электроды и зажигается плазма. После этого включают клапан 8 и гаэ от источника 2, соединенного последовательно со стабилизатором давления 4, измерителем расхода 6, поступает в реактор 10. По измерителю 6 устанавливают заданный расход газа, Затем отключают клапан. 31 в...