Урыский

Номер патента: 549686

Опубликовано: 05.03.1977

Авторы: Седов, Урыский

МПК: G01J 3/28

Метки: волны, длины, светофильтра

...не позво- б ь характеристики светофильтдиапазоне длин волн,ель достигается те через образец све ляризуют, направля ю пленку, нанесенну ю подложку, и по и яризованного свет льтра.изменяются, Эти изменеомошью анализатора 6 определяют топриемника Измерение пара пленки на кремниев эллипсометра ведут и Я . Для этого с кают через два све метров диэлектрической ой подложке с помощью на двух длинах волн А вет от источника пропустофильтра 2 с известной неизвестной ; находят инои волны 1 и го света, Ь и орые на номограм преломления и фа ам ва етры поляриздля Л и Л2мостей показтолшины пле к зави овой ки от параметров поляри(с Ь) представле(фиг. 2). Найден- и 1 и 2 соответстров пленки П Р 1 длин волк Л и Лна одном участке зованного света: 1ны...