Способ определения длины волны светофильтра

Союз Советских Социалистических РеспубликОП ИСАЙ ИЕИЗОБРЕТЕН ИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ) М. У 3/28 соединением заявкиооударстеенный номитеСовета Миниотроа СССРпо делам изобретенийи открытий(23) Приоритет 43) Опублнковано 05.03,77.Бюллетень945) Дата опубликования описания 26.04.77) Заявитель СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ДЛИНЫ ВОЛНЫ СВЕТОфИЛЬТ Изобретеникнике и мож ет опреде в в широк льн в частзики ности в област для определени ель изобретени повышение точнос мерения, Указанн 5олны ьтра эллипсоме м, что поса его звестен сп ле прохожденияэллиптически по светофильтраспектральнойпропускании его параметр т на диэлек к одников метрам дятотраженного пол о длине светофи эталонном о и измеряя к дающего наз него, подю зависимосетофильтра особ позволяет опредьветофильтра непосредсти толщины диэлектричес редложенныи сдлину волныпри измеренленки на полуп лят ен кой роводниковой подложкеметра, Значение длины необходимо в процесс с помощью эллипс водны светофильтр таток известноом, что он нения длины волн дос в т ии, поскольку льзовать разлипсометрических изме очень часто приходится ис личные длины волн падаюшКроме того, предложеннь быть применен при опреде гик светофильтров в широ длин волн,определе кольку н характер дить по его света.й способ може обходимо ст стику и иск ении характерисом диапазоне максимуму зав кания светоф е того, извест та про ны. Кр относится к измерите быть использовано экспериментальной ф расчетной длины све трическим способом.особ определения длинь путем снятия и анализа его характеристики, основанный наерез него света и сравнениив с данными, полученными на 10азце. Изменяя длину волны аждый раз интенсивность света,светофильтр и прошедшего чесчитывают, а затем строят крити коэффициента пропускания 15от длины излучения. го способа заключаобеспечивает точногоы светофильтра, пос-ить спектральнуюую длину волны нахоисимости коэффициенильтра от длины волный способ не позво- б ь характеристики светофильтдиапазоне длин волн,ель достигается те через образец све ляризуют, направля ю пленку, нанесенну ю подложку, и по и яризованного свет льтра.изменяются, Эти изменеомошью анализатора 6 определяют топриемника Измерение пара пленки на кремниев эллипсометра ведут и Я . Для этого с кают через два све метров диэлектрической ой подложке с помощью на двух длинах волн А вет от источника пропустофильтра 2 с известной неизвестной ; находят инои волны 1 и го света, Ь и орые на номограм преломления и фа ам ва етры поляриздля Л и Л2мостей показтолшины пле к зави овой ки от параметров поляри(с Ь) представле(фиг. 2). Найден- и 1 и 2 соответстров пленки П Р 1 длин волк Л и Лна одном участке зованного света: 1ны двумя точкаминые таким образомвуют значениям пари 112 и . Если значЯ"близки (измерениесветового диапазон и 2точк мет я ведута, нап р, в видимои На фиг. 1 показана оптическая схема эллипсометра, реализуюшая предложенный способ; на фиг, 2 - номограмма зависимостей показателя преломления г 1 и фазовой толщины пленки Р от фазового сдвига меж ду компонентами электрического вектора 6 и изменения отношения амплитуд компонент элекгрического вектора .Свет от источника 1, пройдя монохроматический фильтр 2, параллельным пучком 0 падает на линейный поляризатор 3, выходя из которого становится линейно поляризованным. Компенсатор 4 преврашает линейный поляризованный свет в элпиптически поляр- зованный, параметры которого после отражения от поверхности диэлектрической пленкиобласти спектре), то дисперсия показателяпреломления подложки и пленки пренебрежимомала и при измерении 3= тг, а 3= д2Известно, что фазовая толщина пленкио и линейная д связаны зависимостью.д"О "ф:1 Щ ф дг Лг 60 д иЮ; определ3 =Г(ь)по номограммех длин волнА,иЛ,2 ормула изобретени особ измерениоснованный на и сравненииолученными на илья длины волны свето пропускании через н его параметров с даэталонном образце й с я тем, что, с тра све г ннь ми,3целью чаюши ия точпост т л выш мерения, после проазец света его эллиптинаправляют на диэлектхождения через очески поляризуютрическую пленку,нанесенную на полупрожку, и по параметрам от ованного света судят о офильтра. одниковую подло аженного поляри лине волны свет где Ф, - угол падоения света на образец.Поскольку Й /А/ пленки постоянны, то искомую расчетную длину волны света можно определить из тождества;Ул549686 Ф = бО 120 Составитель В, ЗверевТехред М, Ликович Корректор В. Куприянов Редактор С. Титова Заказ 343/117 Тираж 822 Подписное ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5