Суборкин

Номер патента: 1504527

Опубликовано: 30.08.1989

Авторы: Гребенкин, Котиков, Суборкин, Шорин

МПК: G01M 3/02

Метки: герметичность, испытаний

...10Устройство для испытаний иэделийна герметичность содержит камеру 1с расположенным внутри нее испытываемым иэделием 2, соединенную черезвентиль 3 с одним концом входноймагистрали 4, второй конец которойчерез вентиль 5 соединен с входомдиффузионного насоса 6, выход которого через вентиль 7 соединен с входом адсорбционного насоса 8, Выход . 20последнего через вентиль 9 соединенс входом масс-спектрометрической камеры 10, выход которой через вентипь11 соединен с одним концом трубопровода 12, который через вентиль 13соединен с механическим насосом )4,другой конец которого соединен струбопроводом 4,Устройство работает следующим образом, 30Иэделие 2 помещают в камеру 1,открывают вентили 3 и 13 и вакуумируют камеру 1, магистраль 4 и...