Устройство для испытаний изделий на герметичность

СОЮЗ СО 8 ЕТСКИХ.СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХРЕСПУБЛИК 27 А 1 9) (1) 1)4 С 01 М 3/ ЗОБРЕТЕ ОПИС СВИДЕТЕЛЬСТ ВТОР ССР 87,(54) УСТРОЙСТВО ЛИЙ НА ГЕРМЕТИЧ) (57) Изобретени лю герметичност рометрическим м повысить произв ний, Устройство я к контро относ масс-спектозволяет одом и ительн ть испыт последов ерж ОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМПРИ ПИНТ СССР 21) 4361434/25-2822) 11,018846) 30,08.89. Бюл. М 3272) А.А.Шорин, В,Ф.Суворки.М.Гребенкин и В.В,Котиков53) 620.165,29(088,8)56) Авторское свидетельств1310657, кл, С 01 М 3/02,ДЛЯ ИСПЫТАНИЙ ИЗДЕтельно соединенные вакуумную камеру 1, диффузионный насос 6, адсорбционный насос 8, масс-спектрометрическую камеру 10 и механический насос 14, Входная магистраль 4 соединена с входом механического насоса 4 и выходом масс-спектрометрической каме" ры 10, .При охлаждении жидким азотом адсорбционный насос, , 8 многократно поглощает атмосферные газы, кроме водорода и гелия, в циркулирующем потоке и уменьшает фоновый сигнал течеискателя, Устройство позволяет наЭкапливать пробный газ в системе, что обеспечивает измерение малых величин потоков газа от течей. 1 ил.15 Составитель В,ЧерноусовРедактор М,Циткина Техред Л.Кравчук Корректор В. Гирняк Заказ 5 243 4 2 Тираж 789 ПодписноеВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР113035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5 Производственно-иэдательский комбинат "Патент", г.ужгород, ул, Гагарина,101 1504527Изобретение относится к контролюгерметичности изделий масс-спектрометрическим методом.Цель изобретения - повышение про 5изводительности испытаний путем снижения времени получения достоверного сигнала течеискателя,На чертеже представлена схемапредлагаемого устройства. 10Устройство для испытаний иэделийна герметичность содержит камеру 1с расположенным внутри нее испытываемым иэделием 2, соединенную черезвентиль 3 с одним концом входноймагистрали 4, второй конец которойчерез вентиль 5 соединен с входомдиффузионного насоса 6, выход которого через вентиль 7 соединен с входом адсорбционного насоса 8, Выход . 20последнего через вентиль 9 соединенс входом масс-спектрометрической камеры 10, выход которой через вентипь11 соединен с одним концом трубопровода 12, который через вентиль 13соединен с механическим насосом )4,другой конец которого соединен струбопроводом 4,Устройство работает следующим образом, 30Иэделие 2 помещают в камеру 1,открывают вентили 3 и 13 и вакуумируют камеру 1, магистраль 4 и трубопровод )2, Открывают вентили 7,9, 11 и вккуумируют объемы насосов 356, 8 и масс-спектрометрической камеры 10, Закрывают вентиль 11, заливают в адсорбционный насос 8 жидкийазот и включают диффузионный насос6. После выхода на рабочий режим . 40диффузионного насоса 6 закрываютвентиль 13, открывают вентили 5 и 11и заполняют изделие 2 контрольным газом, Диффузионный насос Ь обеспечивает циркуляцию пробного газа, например гелия, а адсорбционный насос 8 поглощает все атмосферные газы, кроме гелия, и предохраняет массспектрометрическую камеру 10 от попадания в нее продуктов газовыделения нагретых поверхностей диффузионного насоса 6. Через масс-спектрометрнческую камеру 10 таким образом прокачивается пробный газ в концентрации, определяемой степенью сжатия диффузионного насоса. Поэтому при поиске малых течей время получения достоверного сигнала течеискателя снижается во столько раэ, во сколько парциальное давление пробного газа на выходе диффузионного насоса больше, чем его парциальное давление на входе.Использование предлагаемого устройства позволит не менее чем в 20 раэ повысить производительность испытаний. Фо рмула из обре тенияУстройство для испытаний иэделий на герметичность, содержащее входную магистраль, диффузионный насос, адсорбционный насос, масс-спектрометрическую камеру, вход которой соединен с выходом адсорбционного насоса, и механический насос, вход которого соединен с входной магистралью, о тл и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения производительности, вход диффузионного насоса соединен с входной магистралью, а выход - с входом адсорбционного насоса, выход масс-спектрометрической камеры соединен с входной магистралью и входом механического насоса.