Стяпкин

Номер патента: 568682

Опубликовано: 15.08.1977

Авторы: Кисель, Стяпкин, Шатохин

МПК: C23G 3/00

Метки: химической

...обработки деталей, содержащее ванну и съемный стол с элементами крепления кассет для размещения обрабатываемых деталей и цент ральным валом, кинематически связанным с приводом 2. Указанное устройство позволяет значительно повысить производительность обработки деталей за счет совмещения вращательного и колебательного движений. 2Одним из общих недостатков известных устройств является то, что они не обеспечивают качественной обработки деталей, например полупроводниковых пластин при травлении и последующей промывке. 2Цель изобретения - повышение качества обработки путем интенсификации перемещения деталей относительно рабочей жидкости. Это достигается тем, что съемный стол выполнен в виде планетарного редуктора с фик Ватеитно-техн и...