Сидиров

Нагреватель для подложек

Загрузка...

Номер патента: 490273

Опубликовано: 30.10.1975

Авторы: Седых, Сидиров, Строганов

МПК: H05B 3/14

Метки: нагреватель, подложек

...рабочей зоны нагревателя при различных температурах нагрева.Это достигается тем, что, в пластине на участках, расположенных между рабочей зоной и токовводами, выполнены отверстия, в которых размещены пробки из токопроводящего материала с возможностью их осевого перемещения.Описываемое устройство изображено на чертеже и состоит из графитовой пластины 1, соединенной торцами с токовводами 2, и пробок 3, ввернутых в резьбовые отверстия, расположенные между рабочей зоной и токовводами.Настройка нагревателя на рабочую т ратуру обеспечивается изменением глу размещения пробок в отверстиях. При полностью закрытых отверстиях погонное сопротивление на любом участке пластины будет одинаковым. С уменьшением глубины завин чивания пробок...