Нагреватель для подложек
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Текст
(51) М. Кл. Н 05 Ь 3,14С 23 с 1312 Государственный комнт Совета Министров ССС(088,8) пв делам изобретенн и открытий 2) Авторы изобретения С. Седых, В. А. Сидоров и В. М, Строганов 71) Заявитель(54) НАГРЕВАТЕЛЪ ДЛЯ ПОДЛОЖЕК мет изобретения ек, сод енную т ся те ч ности чных т участка ной и т которь ящего м еремеще ержащии орцами с м, что, срабочей емператух, распо- оковводатх размеатериала ния,емпе- бины Изобретение относится к области микроэлектроники и может быть использовано для нагревания подложек микросхем.Известен нагреватель для подложек, содержащий графитовую пластину, соединенную торцами с токовводами.Однако известное устройство может быть использовано в узком диапазоне температур, определяемом величиной пропускаемого через пластину электрического тока. Только лишь при одном зна ении тока будет наблюдаться изотермичность рабочей зоны нагревателя.Цель изобретения - обеспечение изотермичности рабочей зоны нагревателя при различных температурах нагрева.Это достигается тем, что, в пластине на участках, расположенных между рабочей зоной и токовводами, выполнены отверстия, в которых размещены пробки из токопроводящего материала с возможностью их осевого перемещения.Описываемое устройство изображено на чертеже и состоит из графитовой пластины 1, соединенной торцами с токовводами 2, и пробок 3, ввернутых в резьбовые отверстия, расположенные между рабочей зоной и токовводами.Настройка нагревателя на рабочую т ратуру обеспечивается изменением глу размещения пробок в отверстиях. При полностью закрытых отверстиях погонное сопротивление на любом участке пластины будет одинаковым. С уменьшением глубины завин чивания пробок будет увеличиваться погонноесопротивление на торцевых концах пластины, что вызовет повышенное тепловыделение на этих участках, в то время как на участках рабочей зоны количество выделяемого тепла О будет оставаться постоянным. Регулируя глубину перекрытия отверстий, можно обеспечивать изотермичность рабочей зоны при любой ее температуре, определяемой током нагревателя. 0 Нагреватель для подложграфитовую пластину, соедин токовводами, отличающий целью обеспечения изотерми зоны нагревателя при разли 5 рах нагрева, в пластине наложенных между рабочей зо ми, выполнены отверстия, в щепы пробки из токопровод с возможностью их осевого и490273 ГИцыо чаи Составитель 11. БлинковаРедактор Г. Яковлева Техред Т. Миронова Корректор Л. Денис аказ 3368/18ЦН Подп испоСР ПИ ипография, пр. Сапунова,Изд.929осударственного к по делац. изобр Москва, Ж, Р ите ениГ шск Тираж 869Совета Министровоткрытийнаб., д. 45
СмотретьЗаявка
1974086, 20.11.1973
ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ А-3562
СЕДЫХ АНАТОЛИЙ СЕРГЕЕВИЧ, СИДИРОВ ВЛАДИМИР АЛЕКСЕЕВИЧ, СТРОГАНОВ ВАЛЕРИЙ МИХАЙЛОВИЧ
МПК / Метки
МПК: H05B 3/14
Метки: нагреватель, подложек
Опубликовано: 30.10.1975
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-490273-nagrevatel-dlya-podlozhek.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Нагреватель для подложек</a>
Предыдущий патент: Устройство для пространственно-временной коммутации сигналов в цифровой форме
Следующий патент: Разрядник нейтрализатора статического электричества
Случайный патент: Устройство для очистки мешков