Штабнова

Номер патента: 1234763

Опубликовано: 30.05.1986

Авторы: Емельянова, Кировская, Скутин, Штабнов, Штабнова

МПК: G01N 27/22

Метки: влажности, газов, датчик

...различных газов. 5Цель изобретения - повышение чувствительности датчика влажности.На поверхности монокристаллического арсенида галлия сформирован оксидный слой, полученный травлением поверх О ности полупроводника в водном растворе плавиковой кислоты с последующим вакуумированием. Этот слой повышает степень заряжения поверхности, которая определяет чувствительность дат чика.На чертеже показан датчик, общий вид.Датчик влажности газов состоит из эпитаксиальной пленки арсенида гал лиа 1 на полуизолирующей подложке 2, причем пленка покрыта оксидным слоем 3 и металлические электроды 4 и 5, представляющие собой омические индиевые контакты, изготовленные методом вплавления.Датчик работает следующим обоазом.Датчик помещают в исследуемую...