Штабнов

Номер патента: 1798672

Опубликовано: 28.02.1993

Авторы: Кировская, Скутин, Штабнов, Юрьева

МПК: G01N 27/02

Метки: влажности, газов, датчик

...ГАЗОВосится к области меть использовано в датствительный элементгаллия,легированноют автоэпитаксиальную пленку высоколегированного теллуром арсенида галлия толщиной 1,9 Окм, На поверхности эпитаксйальной пленки вплавляют металлические индиевые электроды, .Принцип работы датчика основан на изменении проводимости полупроводниковой пленкипри адсорбции паров воды, которая сопровождается образованием донорно-акцепторных комплексов типа Н 20" 6 а ,Датчик работает следующим образом.Датчик помещают в исследуемую среду, При адсорбции паров воды происходит заряжение поверхности пленки за счет взаимодействия адсорбированных молекул воды с поверхностью, 3 аряжение поверхности изменяет концентрацию свободных носителей зарядов в пленке, а...

Номер патента: 1234763

Опубликовано: 30.05.1986

Авторы: Емельянова, Кировская, Скутин, Штабнов, Штабнова

МПК: G01N 27/22

Метки: влажности, газов, датчик

...различных газов. 5Цель изобретения - повышение чувствительности датчика влажности.На поверхности монокристаллического арсенида галлия сформирован оксидный слой, полученный травлением поверх О ности полупроводника в водном растворе плавиковой кислоты с последующим вакуумированием. Этот слой повышает степень заряжения поверхности, которая определяет чувствительность дат чика.На чертеже показан датчик, общий вид.Датчик влажности газов состоит из эпитаксиальной пленки арсенида гал лиа 1 на полуизолирующей подложке 2, причем пленка покрыта оксидным слоем 3 и металлические электроды 4 и 5, представляющие собой омические индиевые контакты, изготовленные методом вплавления.Датчик работает следующим обоазом.Датчик помещают в исследуемую...