Шмилевич

Номер патента: 1345103

Опубликовано: 15.10.1987

Авторы: Голованов, Смынтына, Турецкий, Чемересюк, Шмилевич

МПК: G01N 27/02

Метки: анализатора, ангидрида, сернистого, чувствительный, элемент

...тонком приповерхностном слое, Увеличение толщины пленки приводит кпоявлению объемной составляющейэлектропроводности, которая шунтирует поверхностную проводимость, обуславливая потерю чувствительностипленки к сорбции БО, Уменьшение толщины пленки приводит к ухудшению параметров из-за увеличения влияниянижней поверхности пленки,Нагрев подложки до температурыее обезгаживания позволяет обеспечитьчистоту полупроводникового слоя ЧЭс одновременным удалением побочныхпродуктов из зоны реакции.Устройство работает следующим образом,Перед началом работы чувствительный элемент нагревают до температуры 90-100 С с целью увеличения ско рости протекания последующих сорбционных процессов на поверхности 5103 2пленки, На контакты 3 подается...