Шелер
Приемный стол для контроля и обработки полупроводниковых пластин
Номер патента: 1359662
Опубликовано: 15.12.1987
Авторы: Баттиг, Диттрих, Оертел, Остерланд, Рюккнагел, Шелер, Шультц
МПК: G01B 9/00
Метки: пластин, полупроводниковых, приемный, стол
...пластину 3, установленную на определенном расстоянии от поверхности стола 1. Полупроводниковая пластина 3 ограниченакоординатами х и у с помощьюупоров 4. Стол 1 представляет собойединый стеклокерамический блок, имеющий на двух ортогональных гранях отражающие поверхности 5 и 6, служащиедля отражения падающих измерительных пучков 7 и 8 лазерных систем 9 и 0измерения пути, Нри помощи лазерныхсистем 9 и 10 измерения пути, которые испускают измерительные пучки7 и 8, центры которых точно находятся в плоскости полупроводниковойпластины 3, возможно позиционирование в двух координатах почти без ошибок. Подложки 2 для полупроводниковой пластины 3 представляют собой всасывающие сопла 11, которые предотвращают скольжение полупроводниковой пластины...
Устройство для разделения сыпучих материалов на фракции
Номер патента: 528130
Опубликовано: 15.09.1976
МПК: B07B 1/42
Метки: разделения, сыпучих, фракции
...устройство. Оно содержит вал 1, вращающийся в подшипниках 2 и 3, на который свободно насажены ступицы 4 и 5 приводного барабана 6, и соленоидную катушку 7. Внутрь последней свободно входит шток 8, жестко соединенный с пластинчатой пружиной 9, другой конец которой закреплен на поводке 10 барабана. При включении привода вращение вала передается барабану через корпус катушки 7, шток 8 с пружиной 9 и поводок 10. При этом пружина деформируется. При подаче переменного напряжения в цепь катушки шток 8, взаимодействуя с переменным магнитным потоком катушки, движется возвратно-поступательно по оси катушки, непрерывно изменяя изгиб пружины 9, что приводит к возникновению радиальных колебательных движений.Изменяя напряжение и частоту...