Ржеуцкий

Номер патента: 273791

Опубликовано: 01.01.1970

Авторы: Петрик, Ржеуцкий, Фалькевич, Шварцман

МПК: C30B 25/14

Метки: гидрида, дозированной, камеру, легирующего, подачи, реакционную, элемента

...элементом снабжена индукционным нагревателем, наличие которого исключает образование аэрозоля легирующего элемента вследствие воздействия искрового разряда ца пары легирующего элемента.На чертеже показано предлагаемое устроиство.Оно включает емкости 1, снабженные индукционными нагревателями 2 и введенными в полости емкостей электродами 8, соединенныхги с импульсным генератором 4, Емкости включены в газовую линию, присоединенную параллельно к линии 5 подачи водорода в реакционную камеру 6. В присоединенную к емкости входную газовую линию 7 встроен капилляр 8; выходная газовая линия 9 соединена с линией 5 при помощи эжектора 10. По линии 5 в камеру подается основной поток водорода, давление которого устанавливают при помощи релуктора...