Радвакский

Номер патента: 336381

Опубликовано: 01.01.1972

Авторы: Александров, Квасников, Радвакский, Шалимов

МПК: C23C 14/38

Метки: катодным, нанесения, пленок, распылением

...стенки и основание газоразрядной камеры, Натекатель Б служит для напуска рабочего газа в камеру.В газоразрядной камере создают давление, не выше 1 10мм рт, ст, Через натекатель путем напуска рабочего газа, в данном случае аргона, давление повышают до(1 - ;8), 10 - - мм рт. ст. К распыляемому катоду прикладывают потенциал - (2 - 6) кв.Положительные ионы аргона ускоряются по 5 тенциалом катода и бомбардируют его. Выбитые атомы материала катода осаждаютсяна подложках б.Выполняя распыляемый катод нз плоскихколец различного диаметра и располагая этн10 кольца на одной оси с подложкодержателемна различном расстоянии от него, можно корректировать толщину напыляемых пленок наплощади, сравнимой с площадью катода,вследствие того, что можно...