Рабаданов
Датчик влажности
Номер патента: 1071100
Опубликовано: 27.06.1995
Авторы: Алиев, Гусейханов, Рабаданов, Эфендиев
МПК: G01N 27/22, H01L 29/41
ДАТЧИК ВЛАЖНОСТИ, содержащий чувствительный элемент, выполненный из слоя оксидного полупроводника с двумя контактами на противоположных поверхностях, один из которых омический, отличающийся тем, что, с целью увеличения чувствительности датчика, второй контакт с барьером Шоттки, площадью, изменяющейся в диапазоне (0,1 1) 10-4 см2, сформирован на оксидном полупроводнике из окиси цинка.