Пошевнев
Способ обработки поверхности арсенида индия
Номер патента: 1814442
Опубликовано: 20.05.2000
Авторы: Галицын, Ковчавцев, Мансуров, Пошевнев
МПК: H01L 21/306
Метки: арсенида, индия, поверхности
Способ обработки поверхности арсенида индия, включающий обезжиривание, травление в растворе, промывку, сушку и термообработку в условиях сверхвысокого вакуума, отличающийся тем, что, с целью повышения степени совершенства структуры поверхности за счет снижения температуры термообработки, травление осуществляют в насыщенном растворе паров соляной кислоты в изопропиловом спирте в течение 5 - 10 мин, а термообработку проводят при равномерном подъеме температуры до 200 - 230oC за время 1,5 - 2 ч и последующей выдержке при этой температуре в течение 20 - 30 мин.