Плгенг

Номер патента: 190758

Опубликовано: 01.01.1967

Авторы: Всссо, Плгенг, Плесков

МПК: C25F 3/00

Метки: арсенида, галлия, невырожденного, типа, фотоэлектрохимического, фрезерования

...катодов или направленной струи электролита.Предлагаемый способ фотоэлектрохимического фрезероваиия иевырождепиого арсенида галлия п-типа отличается тем, что участки изделия, подлежащие травлению, освещаюг через шаблон. Процесс осуществляется в 10 о-ном растворе едкого натрия или калия, Плотность тока 10 в а/см 2.Для получения резкой кромки при фрезеровании используют шаблон с резкими границами между светлыми и темными участками, а для получения произвольного профиля - шаб. лои с переменной оптической плотностью.Предлагаемый способ позволяет ускорить процесс, получить высокую разрешающую ЕСКОГО ФРЕЗЕРОВАНИЯИДА ГАЛЛИЯ и-ТИПА способность и любой профиль поверхности, атакже контролировать глубину рельефа.Предмет изобретения 1....