Орадович
Способ измерения шероховатостисверхгладких поверхностей
Номер патента: 815492
Опубликовано: 23.03.1981
Авторы: Орадович, Солодухо
МПК: G01B 11/30
Метки: поверхностей, шероховатостисверхгладких
...поток и состоящий иэ источника 1 излучения - лазера, объектива 2, зеркал 3 и 4, поворотного зеркала 5 и ослабителя 6 интенсивности, изделие 7 и узел приемного устройства, состоящий из объектива 8, диаграмы 9, фотодиодов 10 и 11, 25 усилителя 12, устройства 13 для полу- чения отношения сигналов и вычислительного устройства 14.Предлагаемый способ осуществляется следующим образом. 30С помощью монохроматического источ. ника 1 изЛучения, объектива 2, зеркала 3, поворотного зеркала 5, установленного в положение А, и ослабителя б интенсивности освещают поверх ность изделия 7 под углом падения Ол и регистрируют фотодиодом 10 интенсивность излучения, отраженного в малом телесном угле Ь(Ю фотодиода в направлении Вг= Вл зеркального от"...