Одиников

Вакуумное шлюзовое устройство

Загрузка...

Номер патента: 519500

Опубликовано: 30.06.1976

Авторы: Минайчев, Одиников, Панкратов, Пупко

МПК: C23C 13/00

Метки: вакуумное, шлюзовое

...рабочую камеру 14.Механизм перемещения 15 кинематическисвязан с ползуном 6.При правом крайнем положении ползуна 6производится загрузка изделия 10 в отверстие 15 штока 7. Изделие 10 при этом ложится на горизонтальную перегородку 3. При перемещении ползуна 6 в левое крайнее положение изделие 10 скользит по поверхности горизонтальной перегородки 3 и в месте ее обрыва в 20 отсеке 4 происходит перегрузка изделий 10под собственным весом из отверстия штока 7 в отверстие штока 8, при этом изделие 10 ложится на поверхность горизонтальной перегородки 2. При обратном ходе ползуна в правое 25 крайнее положение аналогичным образом происходит перегрузка изделия 10 из отверстия штока 8 в отверстие штока 9. В этом же положении осуществляется загрузка...