Нидаев
Способ изготовления структур мдп-приборов
Номер патента: 1168021
Опубликовано: 27.10.1995
Авторы: Мельник, Мокеев, Нидаев
МПК: H01L 21/76
Метки: мдп-приборов, структур
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ СТРУКТУР МДП-ПРИБОРОВ, включающий формирование на кремниевой подложке пленки двуокиси кремния, осаждение слоя поликристаллического или аморфного кремния, разделение слоя кремния на изолированные области, рекристаллизационный обжиг, отличающийся тем, что, с целью увеличения подвижности носителей заряда в изолированных областях кремния и сохранения исходной формы этих областей, слой поликристаллического или аморфного кремния разделяют на изолированные области методом локального прокисления этого слоя до пленки двуокиси кремния.