Патенты с меткой «мдп-приборов»
Способ изготовления взаимодополняющих мдп-приборов
Номер патента: 1023969
Опубликовано: 07.06.1985
Авторы: Зеленцов, Панкратов, Сельков, Трушин
МПК: H01L 21/82
Метки: взаимодополняющих, мдп-приборов
...удаление . .нитрида кремния и лежащего пбд ним окисла, выращивание на открывшейся поверхности тонкого подзатворного диэлектрика, нанесение слоя материала затворов, формирование рисунка разводки в слое материала затворов, создание ионным легированием областей стоков и истоков МДП приборов, нанесение слоя диэлектрика и вскрытие в нем контактных окон к областям стоков, истоков и затворов МДП приборов, нанесение слоя материала разводки и1023969 3ее формирования, после нанесенияслоя материала затворов, вскрываютв нем окна для областей стоков-истоков ИДП приборов одного типа проводимости с одновременным формировакием затворов в области каналовэтих приборов, проводят ионное легирование областей полупроводника вэтих окнах соответствующей...
Способ изготовления структур мдп-приборов
Номер патента: 1168021
Опубликовано: 27.10.1995
Авторы: Мельник, Мокеев, Нидаев
МПК: H01L 21/76
Метки: мдп-приборов, структур
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ СТРУКТУР МДП-ПРИБОРОВ, включающий формирование на кремниевой подложке пленки двуокиси кремния, осаждение слоя поликристаллического или аморфного кремния, разделение слоя кремния на изолированные области, рекристаллизационный обжиг, отличающийся тем, что, с целью увеличения подвижности носителей заряда в изолированных областях кремния и сохранения исходной формы этих областей, слой поликристаллического или аморфного кремния разделяют на изолированные области методом локального прокисления этого слоя до пленки двуокиси кремния.