Невейко
Устройство для плазмохимической обработки электронно вакуумных приборов
Номер патента: 1778817
Опубликовано: 30.11.1992
Авторы: Геллер, Катаев, Невейко, Хрусталев
МПК: H01J 9/20
Метки: вакуумных, плазмохимической, приборов, электронно
...элементы 5, входящие в состав распределенного ВЧ-генератора тока 1, представляют собой в данном случае лампы ГУв количестве 4 штук.Генератор ВЧ 6 электромагнитных колебаний, необходимый для возбуждения активных элементов 5, имеет верхнюю г аницу рабочей частоты 1 г.а не менее1 р = 1 Г 2 13,56=20 МГц и регулируемую выходную мощность не менее 60 Вт. Однородный волновой тракт 7, служащий для подведения ВЧ-напряжения возбуждения к активным элементам 5, образован П-образными фильтрами нижних частот, величины элементов которых: 1-с 1=с 2 фЧ-с 3=1-с 4, Сс 1=Сс 2=СсЗ=Сс 4 ю Неоднородный нагрузочный волновой тракт 3 образован последовательно соединенными П-образными ФНЧ 4, а элементы каждого фильтра образованы катушкой ин 5 10 15...