Мытарева

Устройство герметизации диффузионной ячейки для измерения диффузии в тонкопленочных материалах

Загрузка...

Номер патента: 630561

Опубликовано: 30.10.1978

Авторы: Жуков, Мытарева, Никитский, Свечкин

МПК: G01N 13/00, G01N 15/00

Метки: герметизации, диффузии, диффузионной, материалах, тонкопленочных, ячейки

...основание; кольцевой паз и уплопнителыный элемент имеют црямоулольное сечение,На фиг. 1 схематически пснказаао предлагаемое успройспво;в разрезе; на фиг, 2 - с,очение по А - А;на ф,иг. 1.Устройспво гермепизации диффузисвной ячейки для измерения диффузии,в тонкоплеиочных материалах оодержит упруиий уплотгнительный элемент 1, испытуемый образец 2, решетку дкрыжку 4, оонование 5, жесткое кольцо б, конические шпонки 7,:накидную,гайку 8,и крепежные элементы 9.Уллопнителыный элемент 1 установлен з 1 кольцевом пазу 10 основавия 5 иа,подвижном жестком;кольце б. Конические шпанки 7 рааположены в радиалыных пазах 11, 1 равномерно;расвределеиных по периметру основания 5. Гайка 8 охватывает основаине 5. На крышке 4 имеются патрубки 12 для...