Моталева

Номер патента: 261082

Опубликовано: 01.01.1970

Авторы: Гурвич, Ерусалимчик, Ефимов, Игнатьев, Кочеткова, Кривенко, Моталева, Таразанов, Хохлов

МПК: B23H 7/26

Метки: поверхностей, электрохимической

...быть использован при электрохимической обработке поверхностей токопроводящих пластин, в частности полупроводниковых.Известны способы и установки для электролитического полирования полупроводниковых ,пластин с опорными дисками. Процесс обработки пластин по этим способам осуществляется в слое электролита.Описываемый способ электрохимической обработки поверхностей отличается тем, что полупроводниковые пластины обрабатывают в свободно-плавающем состоянии, причем величину межэлектродного зазора поддерживают путем корреляции между удельным весом электролита и объемным весом анодного диска. Такой способ позволяет обеспечить анодное растворение микронеровностей, превышающих 0,05 - 0,1 мк, посредством ведения процесса на зазоре не более 100...