Межонова

Номер патента: 1203467

Опубликовано: 07.01.1986

Авторы: Кузнецов, Межонова, Новиков, Смагин

МПК: G03B 27/20

Метки: контактной, фотопечати

...в частности к устройствам контактной фотопечати.Цель изобретения - повышение точности воспроизведения рисунка топологии эталонного фотошаблона и увеличение срока его службы,На фиг. 1 изображено предлагаемое устройство, общий вид в разрезе; на фиг. 2 - то же, вид сверху.Устройство содержит корпус 1, на котором закреплен держатель 2 с упругой манжетой 3, на которой установлен эталонный фотошаблон 4, образуя герметичную зону 5. В корпусе 1 размещены подпружиненные штыри 6 ориентирования эталонного фото- шаблона 4. На держателе 2 шарнирно закреплен держатель 7 рабочего фотошаблона с упругой манжетой 8, на которой установлен рабочий фотошаблон 9, образуя герметичную зону 10. Фотошаблон 9 сориентирован посредством штырей 11 кронштейна.12,...

Номер патента: 870300

Опубликовано: 07.10.1981

Авторы: Межонова, Новиков, Тюлягин

МПК: B65G 49/04

Метки: контейнере, химико-технологической

...совмещения и экспонирования, на операцию проявления фоторезиста или операцию травления окисла ЯО или Я после операции задубливания.В ванны 2 заливают соответствующие растворы, после чего контейнер 1 с пластинами 12 закрепляют на подвеске О, которая в этот момент находится в крайнем верхнем положении, т. е. над ванной 2.Затем включают устройство на автоматический режим обработки полупроводниковых пластин 12.Г 1 ри этом полая Г-образная стойка 4 с помощью механизма 15 перемещается в крайнее нижнее положение, в результате чего контейнер 11 с пластинами 12 погружается в одну из ванн 2, заполненную технологическим раствором.В этот момент с помощью вала 5, шкива 6, ремня 7, шкива 8 и вала 9 от привода 13 вращения передается вращательное...